真空機組在氣缸與機體之間加設隔油腔（其長度大于一個行程長度），阻撓機體內潤滑油沿活塞桿漏人氣缸，所以該泵對被抽體系，無油往復真空泵有立式和臥式兩種結構，真空泵的工作原理如圖所示，首要部件是氣缸1及在其間做往復直線運動的活塞。

活塞的驅動是用曲柄連桿3來完結的，除上述首要部件外還有排氣閥4和吸氣閥5.工作時，在電動機的驅動下，通過曲柄連桿機構的作用，使氣缸內的活塞做往復運動，當活塞在氣缸內從左端向右端運動時，因為氣缸的左腔體積不斷增大，氣缸內氣體的密度減小。

而構成抽氣過程，此刻容器中的氣體通過吸氣閥5進人泵體左腔，當活塞到達右方位時，氣缸內就完全充滿了氣體，接著活塞從右端向左端運動，此刻吸氣閥5封閉，氣缸內的氣體跟著活塞從右向左運動而逐步被緊縮，當氣缸內氣體的壓強到達或稍大于大氣壓時，排氣閥4被翻開，將氣體排到大氣中，完結一個工作循環，當活塞再自左向右運動時，又吸進一部分氣體，重復前一循環，如此反復下去。直到被抽容器內到達某一安穩的平衡壓力停止。