真空機組單級為4 X 102Pa--103Pa,雙級可達1Pa,抽速規模45m3/h-20000m3/h,用于從密封的容器中抽除氣體，被抽氣體很度不超過35t,假如加上輔助設備，如冷凍器，也可以抽燕氣，往復式真空泵的排氣t較大，多用于真空浸漬、鋼水真空處理。

真空蒸餾、真空燕發、真空濃縮、真空結晶、真空干澡、真空過濾及混凝土的真空作業等方面抽除氣體，往復式真空泵關于抽除腐蝕性的氣體或含有孩粒狀塵埃的氣休是不適用的，被抽氣休中假如含有塵埃，在泵的進口處加裝過濾器。

往復真空泵因為選用自潤滑材料的活塞環、密封環，氣缸內無須加油潤滑；在氣缸與機體之間加設隔油腔（其長度大于一個行程長度），阻撓機體內潤滑油沿活塞桿漏人氣缸，所以該泵對被抽體系，無油往復真空泵有立式和臥式兩種結構，無油往復真空泵因為選用自潤滑材料的活塞環、密封環，氣缸內無須加油潤滑。