真空泵與油泵相比真空度低，抽氣量小，但體積細(xì)巧，易于設(shè)備，保護(hù)簡(jiǎn)略，移動(dòng)便利，不發(fā)生油煙，不污染環(huán)境，尤其在要求較高的實(shí)驗(yàn)室運(yùn)用較好，也是實(shí)驗(yàn)室常備的設(shè)備之一，因此在選購(gòu)無(wú)油真空泵時(shí)要先確認(rèn)要求作業(yè)的真空度，假如需求的真度高。

而選的真空泵就要高于需求的真空度，不然達(dá)不到抽真空的要求，就會(huì)達(dá)不到作業(yè)要求，其次是無(wú)油真空泵抽氣速率，選型時(shí)就要稍大于所需求的抽氣速率，這樣就能的滿足需要，后看抽取的氣體有無(wú)腐蝕性，有腐蝕的氣體會(huì)腐蝕泵，在高真空范疇運(yùn)用早的真空泵機(jī)組，油分散泵是用低壓、高速定向運(yùn)動(dòng)的油蒸汽噴射向被抽氣體中，帶動(dòng)氣體往下運(yùn)動(dòng)，將被抽氣體帶向排氣口，然后到達(dá)抽氣口的，油分散泵的抽速規(guī)模很大，從每秒幾十到幾十萬(wàn)升，極限真空為10-4次方~10-8次方。

在10-2次方~10-4次方Pa的真空規(guī)模內(nèi)具有穩(wěn)定的抽氣速率，油分散泵是高真空獲取的重要抽氣設(shè)備，遍及應(yīng)用于真空鍍膜、冶金等行業(yè)，油分散泵之所以被廣泛運(yùn)用，是因?yàn)樗Y(jié)構(gòu)簡(jiǎn)略，價(jià)格低廉，對(duì)被抽氣體無(wú)選擇性，極限真空度高，沒(méi)有機(jī)械傳動(dòng)及摩擦，維修便利，缺陷是容易發(fā)生油蒸汽返流，造成真空室油污染；啟動(dòng)時(shí)間長(zhǎng)；功率大，比較耗電，分散泵的返油使它在對(duì)真空潔凈程度要求較高的真空體系的運(yùn)用中受限，為了處理這個(gè)問(wèn)題，通常在真空室與真空機(jī)組的主泵進(jìn)口之間的管道中設(shè)備冷阱、擋板，可以有效地抽除來(lái)自真空室的冷凝蒸氣和來(lái)自蒸氣流泵的返流油蒸氣。