真空泵分別發動卷繞和蒸騰體系，調查真空計的讀數在時間短下降后有無爬高，能夠初步判斷內漏點方向，內漏多發生在有水冷卻點的設備上，在查外漏沒有發現疑點，可是卻有以下現象：機械泵的抽速顯著偏低，真空計示值低，機械泵油很快乳化。

真空室內的鐵基零部件顯著銹蝕等，具有以上條件基本能夠揣度內漏，先將腔體整理潔凈，再通冷卻水，仔細檢查通水管路有無濕潤點，濕潤處便是漏點，能夠運用在高真空狀態下電離管對某些氣體反應靈敏來檢漏，比方或乙醇，用醫用注射器向可疑的當地噴發或乙醇。

結合指針式真空計，噴到漏點時，電離計的指針會有顯著搖擺，用這種辦法檢漏必定要有耐心，要等到電離計的示值穩定了，也便是真空機組的抽氣能力和漏率平衡了，再噴發，重復幾次，承認漏點，修理必定要注意幾個環節，拆開、清潔、檢驗、裝置，真空設備無論大小都歸于精密機械設備，這點很重要。