真空機組的氣體通道短，氣體在級間的傳送方位不變，有利于氣體快速排出泵外和固體顆粒狀物體的排出，遍及應用于真空鍍膜、冶金等行業，油渙散泵之所以被廣泛運用，是由于它結構簡略，價格低廉，對被抽氣體無選擇性，極限真空度高。

    沒有機械傳動及摩擦，維修便當，缺點是容易發生油蒸汽返流，造成真空室油污染；啟動時間長；功率大，比較耗電，渙散泵的返油使它在對真空潔凈程度要求較高的真空體系的運用中受限，為了處理這個問題，通常在真空室與真空機組的主泵進口之間的管道中設備冷阱、擋板。

    能夠有效地抽除來自真空室的冷凝蒸氣和來自蒸氣流泵的返流油蒸氣，爪式泵拆開困難：由于多級結構，悉數拆開要多級分解，而轉子拆開是真實的難點，一同每拆開一次，精度就會有不同程度的下降。