真空機組即使簡略的清洗也有必要悉數拆開，而選的真空泵就要高于需求的真空度，否則達不到抽真空的要求，就會達不到作業要求，其次是無油真空泵抽氣速率，選型時就要稍大于所需求的抽氣速率，這樣就能的滿足需要。

后看抽取的氣體有無腐蝕性，有腐蝕的氣領會腐蝕泵，在高真空領域運用早的真空泵機組，油渙散泵是用低壓、高速定向運動的油蒸汽噴射向被抽氣體中，帶動氣體往下運動，將被抽氣體帶向排氣口，然后抵達抽氣口的，油渙散泵的抽速規劃很大。

從每秒幾十到幾十萬升，極限真空為10-4次方~10-8次方，從頭設備，螺桿真空泵拆開簡略：螺桿泵的拆開只需要拆掉后蓋軸承即可將轉子從前端抽出，極點簡略，假設僅僅是為了清洗拆開，清洗后只需將轉子裝回泵體內即可，不需做任何調整，爪式泵由于存在級間隔板，氣體通道長且曲折，氣體簡略凝集并且易堵塞通道。